晶圆notch长什么样子?
知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:8寸,12寸晶圆的wafer notch有什么用?notch是怎么做的?有什么要求吗?
什么是wafer notch?
Notch 是指在硅片正下方上切出的一个小的凹槽,通常呈现为V形或U形。Notch有两个作用,一个是用来标记硅片的晶向,如<100>,<110>,<111>等;另一个作用是使硅片在半导体制造设备中能够正确定位和对准。一般在8寸,12寸晶圆中才会有notch。
Notch的形貌是什么样的?
notch的尺寸是要严格符合SEMI的标准的,如上图:
1,Vw代表notch的总宽度,它的大小与硅片的直径和厚度有关。
2,Vh是notch的深度,表示凹槽从硅片边缘到凹槽底部的垂直距离,一般范围在1.0 -1.25mm之间,Vh对于确保notch的对位精度至关重要。
3,AngV,即Notch Angle,AngV是notch的夹角,是凹槽两侧边缘之间的角度,一般在89°-95°之间,这个角度对notch的几何形状和定位起到决定性作用。
4,R1和R2分别表示notch两侧拐角的半径。这两个半径决定了凹槽拐角的圆滑程度,影响到notch的应力集中情况,影响硅片的机械性能。
5,Vr是notch底部的曲率半径,表示凹槽底部的弧度大小。Vr可以改变notch的曲线形状和平滑度,较大的Vr可以使notch底部更平缓,有助于减小应力集中。
6,Notch Orientation,凹槽的方向与晶圆的特定晶向平行,允许有±2度的偏差。