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晶圆甲酸回流炉⸺BR0300
  • 晶圆甲酸回流炉⸺BR0300

晶圆甲酸回流炉⸺BR0300

A、每个区上下同时加热,温度更均匀。 B、采用先进的甲酸回流工艺,有效去除氧化物和污染物。 C、每个区都有独立真空控制,可编程控制每个区的甲酸供应量和氧含量。 更利于控制回流的效果。 D、工艺编程简单,可方便各种制程的导入。 E、兼容性强,整机可以兼容8、12寸标准晶圆及翘曲晶圆。 F、产品配置4组独立的加热腔体,可实现晶圆均匀的升降温要求。

A、每个区上下同时加热,温度更均匀。

B、采用先进的甲酸回流工艺,有效去除氧化物和污染物。

C、每个区都有独立真空控制,可编程控制每个区的甲酸供应量和氧含量。 更利于控制回流的效果。

D、工艺编程简单,可方便各种制程的导入。

E、兼容性强,整机可以兼容8、12寸标准晶圆及翘曲晶圆。

F、产品配置4组独立的加热腔体,可实现晶圆均匀的升降温要求。

G、产能高,每小时产能可达40-120片。

H、维护保养方便简单,保养间隔时间大于3周。

I、可编程参数:温度,升温斜率、降温斜率、运动速度、甲酸浓度、真空 抽速,真空吸附。

型号BRO300
焊接面积650mm*650mm
温度范围室温-450℃
温度均匀性±1%

 

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江苏营销中心生产基地
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上海分公司:
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邮编:200070
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E-mail:sales@torch.cc
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