观察系统:腔体带可视窗口, 可实时观察焊接过程;
加热系统:设备配置6套(H6)加热系统,同时在真空环境下进行工作;
真空系统:设备配置大型真空泵,可快速实现炉腔达到10Pa以下真空环境;
冷却系统:设备采用水冷却系统,保证在高温真空环境下可快速降温;
软件系统:升降温可编程控制,可根据工艺设置升降温曲线,每条曲线都可自动生成,可编辑、修改、存储等;
控制系统:软件模块化设计可独立设置工艺曲线、真空抽取、气氛、冷却等,并可合并生产工艺,实现一键操作;
气氛系统:设备实现无助焊剂焊接,可充入N2/H2混合气体、HCOOH、N2等还原或保护性气体,保证焊点空洞率低于1%;H2功能可选配。
数据记录系统:具有不间断的实时监控和数据记录功能,软件曲线记录、温控曲线保存、工艺参数保存、设备参数记录、调用等;
保护系统:八项系统安全状态监控和安全保护设计(焊接件超温保护、整机温度安全保护、气压过低或过高报警保护、水压保护、安全操作保护、焊接时冷却水路保护、液位保护、断电保护)。
应用领域:IGBT模块、MEMS封装、LED封装、汽车车灯、大功率半导体器件、光电器件封装、气密性封装、微波器件封装、适用于多种产品的的微电子生产线等。
A、真空度:10Pa以下,腔体真空度数值实时显示,并可编程控制和调节 ;
B、真空抽速:50m³/h ;
C、工艺腔体压力:10-1000Pa;
D、加热板隔层承重:单层承重≥20kg ;
E、快速的降温速度:腔体中设立了独立的水冷和气体冷却装置,被焊接器件可快速降温 ;
F、低空洞率的焊接质量:确保焊接之后,大面积焊盘实现1%以下的空洞率 ;
G、可满足金锡焊片、高铅焊料、无铅锡膏等材料的高温环境和真空环境高质量焊接技术要求 ;
H、高产能:每层实际焊接面积为500*300mm,多层同时工作,实现器件大批量生产。
型号 | H6 |
焊接面积 | 500mm*300mm*70mm*6层 |
控温系统 | 控温系统+真空系统+冷却系统+气氛系统+软件控制系统 |
焊接气氛 | 氮氢混合气,氮气等惰性气体及甲酸 |
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