在线式真空固化炉——VGH700

1、设备共有3区，分别是：预热、加热、冷却（具备独立的工艺腔体）；每个腔体都具备观察窗，工艺腔体压力在0.2~1050mbar。 

2、设备支持氮气等多种气氛环境，并能精准控制；支持电产品真空固化工艺。 

3、可编程多段抽真空功能：每个腔体具有独立的真泵及控制系统，真空度≤1mbar,抽速100m^3/h，加装软抽阀，速率可调。腔体真空数值实时显示并可控制和调节。 

4、采用加热板接触式加热，冷却板接触式散热，加热板和冷却板面积685*350mm,加热板隔层承重≥20公斤；升温速率1-3℃/S，降温速率3-6℃/S，均可编程控制。 

5、工作温度室温~260℃，控温精度≤±0.5℃，温度均匀性≤±1%。 

6、固化后单个空洞率低于2%，总空洞率不超过3%（10*10mm以上），工艺曲线可根据具体要求进行调节；无夹具定位，产品固化后位移满足工艺需求（位移≤0.2mm角度≤1度)。 

7、工艺控制：1）固化中各阶段的温度梯度和时间，可按需要自由编程并保存； 

 2）能实现所有工艺曲线的自动生成，能对工艺程序进行编辑； 

3）具有数字式气体质量流量控制器（MFC）,可精确控制工艺气体流量。 

8、自主研发控制程序，可实时监控和数据记录，实时显示和记录温度、流量及真空数据；具备程序权限管理（管理员、工艺员和操作员），防止程序参数被误改。 

9、设备具备腔体泄漏报警（检测到真空失效，气体泄漏时报警)、气路供压报警（气路压力过低时报警）、腔体过压报警（腔体压力过高时报警）、超温报警（温度超过设定的温度的报警）；具备独立的气体保护系统，所以的电气门均备锁定装置。 

10、加热板平均寿命（平面度）在5年以上，温控系统具有智能温度校正功能，可对温度进行温差补偿；具有MES功能，可开放相应的接口和功能，获取客户所需信息，SEMI通信标准SECS/GEM。 

11、前后具有轨道接口，可通过轨道与贴片机进行对接。 

12、设备模块化设计，加热管和加热板分离设计，长期使用如果温度均匀度有变化，可以不用更换整套加热板，直接更换部分加热管即可。方便调整每一个加热板的温度均匀度，易于维护和温度性能校准。