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VDF系列真空除气炉是MEMS芯片、红外芯片、高真空封装芯片领域常用的一种设备，主要用于器件除气、材料除气、封装过程除气等用途。
高真空，高配的真空除气炉的真空度高达10-7pa。
洁净的环境：设备内胆采用高纯度石英玻璃，确保除气过程中没有异物产生。
使用方便，在除气过程中，真空环境和温度环境都有实时曲线显示。方便检查。
设备具备数据采集功能，可以通过网络把相关工艺参数和报警信息、操作记录发送到管理系统。
【标 配】
1、真空除气炉主机一台 2、冷水机一台 3、真空干泵+分子泵泵组 一套
【选 配】
离子泵泵组
| 型号 | VDF500 |
| 腔体材质 | 石英 |
| 开门方式 | 前开门 外置开关 |
| 外形尺寸 | 980*1100*1800（主体） |
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地址：江苏省泰兴市高新区科创路18号
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