压力固化炉(PCO-40)主要应用在晶圆黏结工艺中,特别是芯片黏着和底部填胶应用中,压力固化 炉,或压热器,可以减少微小气泡和增加黏附强度
1、压力固化炉(PCO-40)是通过向一个压力容器里注入高压气体,内置吹风机构将内部加热高压 气体产生对流进行工作的。
2、加热器、热交换器置于压力容器的内部。
3、当工艺完成时,压力容器将自动释放压力至常压并冷却。
压力固化的应用:
晶圆层压 热压晶圆黏结 芯片黏着固化 芯片底部填胶固化 孔矽填充 胶片和带条黏结 印刷行业的复合成型
型号 | PCO-40 |
真空泵功率(KW) | 5.5 |
设备总功率(KW) | 70-90 |
设备质量 | 2000~2500 |
了解更多产品信息,请扫码咨询。 |