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晶圆键合机-TORCH180
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晶圆键合机-TORCH180

晶圆键合晶圆级封装
TORCH180晶圆键合机,主要以机械压力为主,在施压设备选择上,本设计使用精 密气压控制系统,自主研发正压气囊机构,实现高精准施压。

TORCH180晶圆键合机,主要以机械压力为主,在施压设备选择上,本设计使用精密气压控制系统,自主研发正压气囊机构,实现高精准施压。 

在整体腔体及结构设计上采用真空密封结构设计,在键合时可在真空环境或其他惰性气体(两种或两种以上)保护氛围内进行键合,提升产品键合质量。 

整体设备包含:施压系统、真空系统、加热系统、温度控制系统、冷却系统等。



型号TORCH180
键合范围≤12英寸
炉膛高度10MM(其它高度可选)
机械压力
5T

 

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