TORCH180晶圆键合机,主要以机械压力为主,在施压设备选择上,本设计使用精密气压控制系统,自主研发正压气囊机构,实现高精准施压。
在整体腔体及结构设计上采用真空密封结构设计,在键合时可在真空环境或其他惰性气体(两种或两种以上)保护氛围内进行键合,提升产品键合质量。
整体设备包含:施压系统、真空系统、加热系统、温度控制系统、冷却系统等。